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安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

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  • 产品名称: 三温区滑轨式PECVD系统(BTF-1200C-III-SL-PECVD)
  • 产品编号: u-04
  • 浏览次数: 125

 

 
 我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。
        1.与传统CVD系统比较,生长温度更低。
        2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。
        3.设备特有的专利技术使得整管辉光均匀等效,均匀生长。
 
 

 

 
 BTF-1200C-III-         SL                                      
炉管尺寸                                              
外径Φ100*2330mm(可选)                                        
极限温度
1200℃
工作温度
≤1100 ℃
温度控制器
PID自动控制晶闸管(可控硅)输出功率, 30段可编程控制器
最快升温速率
20℃/min
加热区
300+300+300mm
恒温区
150+200+150mm
控温精度
±1 ℃
电源
单相220V,交流50Hz
 
 
 
 
最大电压
185~245V/50Hz
最大输出功率
18W
流量计标准量程
100,200,200,500SCCM;(非特殊指定以氮气标定,量程可选定
工作温度
5~45 ºC
工作压差
0.1~0.5 MPa
最大压力
3MPa
准确度
±1.5% FS 
测量范围
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)                                        
针阀
316不锈钢
混气罐
Φ80×120mm
截止阀
Φ6mm”316不锈钢针阀
尺寸
600*600*650mm
 
 
 
 
    
空气相对湿度
 ≤85%
工作电电压
220V±10%  50~60HZ 
功率
500W
抽气速率
10m³/h
极限真空
4X10-2Pa
实验真空度
1.0X10-1Pa
容油量
1.1L
进气/排气口径
 KF25
噪音
50dB
外形尺寸
600×600×600mm 
 
 
 
 
      射频电源
信号频率
13.56MHz±-0.005%
射频功率输出范围
5W-500W
最大反射功率
200W
射频输出接口
50Ω。N-type,female
功率稳定度
±0.1%
谐波分量
-50dbc
供电电压
单相50/60Hz 220v±10%                             
整机效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷却方式        
强制风冷