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安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

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  • 产品名称: 双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD
  • 产品编号: u-06
  • 浏览次数: 106

 

          
      400℃开启式真空预热管式炉不仅是可以提高热交换性能,降低热量损耗的一种预热设备,也可以作为1000℃小型加热炉进行抽真空,通气氛实验;加热区长度100mm,恒温区60mm;炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在3度左右。滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。
        1.与传统CVD系统比较,生长温度更低。
        2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。
        3.设备特有的专利技术使得整管辉光均匀等效,均匀生长。
 
 

        

 

        

 
             硫粉预热器
             
型号:BTF-400C
工作温度:350℃
最高温度:400℃
最快升温速率:30℃/min
推荐升温速率:10℃/min
控温方式:智能化30段可编程控制
工作电压:AC220 V
额定功率:800W
控温精度:±1℃
加热元件:电阻丝
 
 
 
           加热炉
        
 
技术参数:                                                  
额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v  50/60 Hz
最高温度(℃):1200(1 hour)
持续工作温度(℃):1100
升温速率(℃/min):≤50
炉管尺寸(mm):
高纯石英管Φ50×1200mm
加热区长度(mm):440mm
恒温区长度(mm):200mm  
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警能                                                   
控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝
 
 
 
 
重量:35Kg                                                  
外形尺寸:600x600x650mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头。
标准量程(N2):100sccm、200sccm (可根据用户要求定制)
准确度:±1.5%
线性:±0.5~1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
最大压力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体             
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 
截止阀:Φ6                                                                                 
     
 
                 
技术参数:
空气相对湿度≤85%,
工作电电压:220V±10%  50~60HZ 
功率:1千瓦
抽气速率:10m³/H
极限真空:4X10-2Pa
实验真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
进气口口径:KF25
排气口口径:KF25
转速:1450rpm
噪音:50dB
外型寸:600×600×600mm                        
 
          射频电源
信号频率:13.56MHz±-0.005%
射频功率输出范围:5W-500W
最大反射功率:200W
射频输出接口:50Ω。N-type,female
功率稳定度:±0.1%
谐波分量:≤-50dbc
供电电压:单相50/60Hz 220v±10%
整机效率:>=70%
功率因素:>=90%
冷却方式:强制风冷