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安徽贝意克设备技术有限公司

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  • 产品名称: 四路质子气路系统 GMF-4Z (加鼓泡器)
  • 产品编号: GMF-4Z 03
  • 浏览次数: 35

四路质子气路系统 GMF-4Z (加鼓泡器)

文字:[大][中][小] 2016-1-25  浏览次数:441

 

 

主要特点:

1.该供气适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

2.气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

3.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

4.鼓泡器的主要作用是将供气系统输出的作为载气的氢气、氮气或者氩气等气体注入至液态源不锈钢鼓泡器(bubbler)中,携带出需要的各种非腐蚀性液态源的蒸汽,并将其输送至反应腔体,在高温下参与反应生成最终需要的薄膜或者完成相应的化学反应。

5.该设备广泛用于各种使用非腐蚀性液态源蒸汽的CVD,催化反应和活化实验。

主要参数:

配置组件

技术参数

质量流量控制器

工作电压:

185~245V 50HZ

最大输出功率:

18W

流量计标准量程:

100sccm200sccm200sccm500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)

工作温度:

5~45

工作压差:

0.1~0.5MPa

最大压力:

3MPa

准确度:

±1.5% FS

机械压力表

测量范围:

-0.1~0.15 MPa0.01 MPa/grid

针阀

316不锈钢

混气罐

Φ80×120mm

截止阀

Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸

600×600×650 mm

 

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