案例展示

 

安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

免费服务热线:400-0033-603
销售热线:0551-65146 333  
             13305511955              
              18009693519      
              18009693509
售后热线:0551-65148123
销售邮箱:
besteq@163.com
联系人:李晓丽
地址:安徽省合肥市高
新区科学大道110号新材料园

您现在的位置:网站首页
  • 产品名称: 供气系统 5路质子
  • 产品编号: GMF-5Z
  • 浏览次数: 28

供气系统 5路质子 GMF-5Z

文字:[大][中][小] 2016-1-15  浏览次数:445

 

 

 

该供气系统是一种可控制五种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制,此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
 
配置组件
技术参数
质量流量控制器
工作电压:
185~245V 50HZ
最大输出功率:
18W
流量计标准量程:
50sccm,100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)
工作温度:
5~45℃
工作压差:
0.1~0.5MPa
最大压力:
3MPa
准确度:
±1.5% FS
机械压力表
测量范围:
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
针阀
316不锈钢
混气罐
Φ80×120mm
截止阀
Φ6mm”316不锈钢针阀
尺寸
600×600×650 mm

 

相关文章