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安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

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  • 产品名称: 液相控制仪
  • 产品编号: BTC-350C
  • 浏览次数: 82

 

本系统主要作用是将供气系统输出的作为载气的氢气、氮气或者氩气等气体注入至液态源不锈钢鼓泡器(bubbler)中,在特定的温度和压力环境下,携带出需要的各种非腐蚀性液态源的蒸汽,并将其输送至反应腔体,在高温下参与反应生成最终需要的薄膜或者完成相应的化学反应。本装置通过智能温控仪表和电加热器控制鼓泡器及其内部的液态源的温度,手动调节高温微调阀控制鼓泡器内的压力。根据如下公式可以计算通入反应腔体内部的蒸汽的物质量流量:
液态源的物质量流量(mol/min)≈ 流量F*Vprecusor /[Vm*(PAbs -Vprecusor )]
其中F为载气流量(SCCM),Vprecusor液态源在工作温度下的饱和蒸汽压,PAbs 为鼓泡罐内部绝对压力,Vm为22414cm3/mol。本系统的不锈钢鼓泡器配有排液管道方便排液和清洗,罐体上方配有石英光学窗口和注液口,方便观察液面位置和注液。配合精密注射泵或者蠕动泵可实现闪烁蒸发器功能,通过将给定量的液体注入被加热至液体沸点以上的鼓泡器内部,使得注入液体瞬间气化,然后注入反应腔体。
该设备广泛用于各种使用非腐蚀性液态源蒸汽的CVD,催化反应和活化实验。
 

 

 

型号
BTC-350C
额定功率
100W
额定电压
AC 220V  50/60Hz
最高温度
250℃、400℃选配
推荐升温速率
10℃/min
控温方式
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制
控温精度
±1℃
加热元件
电加热带、电阻丝选配
外形尺寸(长x宽x高)
350x250x(300~500可调)mm
设备净重
约 8 KG