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安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

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  • 产品名称: 低真空CVD系统(型号:BTF-1200C-CVD)
  • 产品编号: BTF-1200C-CVD
  • 浏览次数: 186

设备描述:

   该设备是由1200度开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加热区参数:

 

最高温度:1200℃

工作温度:1100℃

最大升降温速率:≤30℃/min

控温精度:±1℃

推荐升温速度:15℃/min
炉门结构:开启式

炉管尺寸高纯度石英管Φ25\50\60\80\100x1000mm  (管径可选)

加热区长度:440mm  

恒温区长度:230mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支;

尺寸:约 590×380×500 mm(炉子)

工作电源:AC 208-240V Single Phase50/60 Hz

额定功率:3kw

可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数:

 

质量流量计参考量程(N2)100sccm200sccm500sccm (量程可选)

准确度:±1.5%

线性:±0.51.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.10.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止阀:Φ6

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系统参数:

 

国产油泵型号:BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

电源:220v 50hz

电机功率:0.4kw  

进排气连接口:KF25

用油量:1.1L

电机转速:1440rpm

工作环境温度:5-40℃

噪音:≤56db

电阻真空计参数:

1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.测量路数: 1路

4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空系统参数:

 

空气相对湿度:≤85%

工作电压:AC220V±10%  50/60HZ

功率:1KW

系统整体极限真空度:10-5Pa

实验真空度:10-3Pa

机械泵:

抽气速率:10m³/h

容油量:1.1L

电机功率:0.4KW

极限压强:6×10-2Pa

分子泵:

抽气速率:100L/S

极限压强:6×10-6Pa

启动时间:<2min

额定转速:4300转/分

冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷。

分子泵控制器:

电压:220V±22V

启动电流:≤7A

输入频率:47HZ—63HZ

最大输出功率:≤150W

最大加速电压:≤40V

加速时间:≤3min

频率(双速):高速705HZ±10HZ

             低速430HZ±5HZ

复合真空计:

测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)

工作模式:手动/自动

电阻单元参数

规管型号:ZJ-52T电阻规

测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电离单元参数

规管型号:ZJ-27电离规

可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管除气方式:焦耳去气

其他参数

控制路数:4路

控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度:±1%

采样时间:1S

电源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用环境温度:0℃~45℃

        湿度:≤85%

连接管路:采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

备注:

根据工艺要求可选配低真空或高真空系统。