案例展示

 

安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

免费服务热线:400-0033-603
销售热线:0551-65146 333  
             13305511955              
              18009693519      
              18009693509
售后热线:0551-65148123
销售邮箱:
besteq@163.com
联系人:李晓丽
地址:安徽省合肥市高
新区科学大道110号新材料园

您现在的位置:网站首页
  • 产品名称: BOF-6-130升华仪
  • 产品编号: BOF-0006
  • 浏览次数: 117

欧莱迪升华仪BOF-6-130指标规格
项目 组成系统部件 分项明细 品牌及规格 部件明细 规格参数
升华炉 设备主体系统 设备整体尺寸及布局 欧莱迪/定制型 设备外形布局 L型
长度 长≤2700mm
宽度 宽≤1600mm
高度 高≤1800mm
部件顺序 石英外管-过滤网-主阀门-冷阱-分子泵
石英管 太平洋/Φ1300*2500*5mm 石英外管尺寸规格设计 外管直径1300mm,长度2500mm,厚度5mm
石英外管连接方式 凹槽内嵌式,凹槽高度>5mm(详见附图)远端接口带滑轨
真空法兰及腔体 欧莱迪/定制型 真空腔体材质 亮面不锈钢钢管 ( SUS 304  )
保护系统 欧莱迪/定制型 过滤网 单层金属滤网
简易拆卸,易清洁保养
冷阱 真空隔层式冷阱设计
 易拆、易清洁保养(手能伸入 冷阱 内)
不锈钢 / 内外均 亮面  抛光
单体外径180-260mm
设备基座 欧莱迪/定制型 设备基座,机身材质 采用『方管骨架』基座,底部附活动轮及水平调整脚,亮面不锈钢作为台面 ( SUS 304 )
设备基座高度(加热炉以下) 高度≤ 800mm
基座门板 易拆卸盖板,冷板喷塑
高温炉系统 热场模块 阿尔塞(日本)/定制型 炉体 上下各6段,12点检测温度
每段加热区长度设定=200+200+400+200+300+200mm 
加热段之间隔断尺寸设定= 10mm
加热炉两侧外壳距离外管连接处>100mm
温度 软件温控保护最高温=600°C,
设备硬件支持最高温度>800°C
功率控制模块  主加热区:40A
升温程序模块 数据可输出,触控屏设置温度程序
炉体制动系统 欧莱迪/定制型 炉体开关 电动缸开盖系统 (可寸动)
人机触控开关
实体控制开关
散热系统 欧莱迪/定制型 散热风扇 耐高温材质
水电气要求 / 整机使用电源380V,整机功率小于22KVA
分子泵冷却水,流量5L/min
气动阀,破真空皆用高纯N2,压力0.6Mpa
人机控制界面 人机硬件系统  MCGS 触碰式屏幕 10.4寸屏
软件控制功能 / 功能实现 触摸屏可加屏幕锁,防止误触
整合设备各气动阀操作,各部件开关,和加热系统设置
分自动模式与 手动模式
真空
系统
真空系统 主泵 中科仪/FF250/1600G 分子泵 FF250/1600G,   抽速1600L/s
高真空抽气管路 欧莱迪/定制型 主抽管路 抽真空端采用了主管直径250mm的分子泵直连,确保实验中高真空的需求,在直径直管中间加插板阀。
前级泵 鲍斯/BSV30 机械泵 抽速30m³/h
低真空抽气管路 欧莱迪/定制型 旁抽管路 插板阀的两端加直径16mm细管旁抽支路,防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向,导致材料不均匀。
真空度指标 / 低真空泵排气速率 主腔体20min内真空度低于2x10^-2torr
高真空泵排气速率 开启分子泵后,40min内主腔体真空度低于5x10^-6torr
保压测试 到达极限真空度后(5x10^-6torr),关闭所有阀门,30min后低于2x10^-2torr