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安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

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  • 产品名称: 低真空CVD系统 (BTF-1500C-3ZL)
  • 产品编号: w-01
  • 浏览次数: 106

设备特点:

     此款CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1500度高温管式炉组成。其广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加热区参数:

 

炉管尺寸:Φ 50×700mm

加热元件:硅碳棒

加热区长度:160mm
恒温区长度:50mm
工作温度:1400
最高温度:1500
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
温精度:±1

推荐升温速度:1400℃以下≤10℃/min,1400℃以上≤5℃/min
工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

额定功率:2.5KW

外型尺寸: 420×295×520 mm

密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)

端口可按实际使用扩展。

标准配件刚玉管1根,不锈钢密封法兰1套,氟胶密封圈2套,氧化铝管堵4只高温手套1副坩埚钩1支小保险1

备注:可选配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同温区的管式炉。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数:

 

质量流量计参考量程(N2)100sccm200sccm500sccm1000sccm (量程可选)

准确度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

备注:可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系统参数:

 

国产油泵型号:BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

电源:220v 50hz

电机功率:0.4kw  

进排气连接口:KF25

用油量:1.1L

电机转速:1440rpm

工作环境温度:5-40℃

噪音:≤56db

电阻真空计参数:

1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.测量路数: 1路

4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W