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安徽贝意克设备技术有限公司

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  • 产品名称: 低真空CVD系统(BTF-1200C-III-SL-4ZL)
  • 产品编号: w-02
  • 浏览次数: 150

低真空CVD系统(BTF-1200C-III-SL-4ZL)

三温区滑轨炉主要技术参数:

额定功率(KW):7

额定电压(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

最高温度(°C):1200

长期使用温度(°C):1100

最快升&降温速率(°C/S):≤20

炉管尺寸:Ø50/Ø60/Ø80/Ø100/Ø130*2330mm(各管径可选)

加热区长度:300+300+300mm(900mm)

恒温区长度:500mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃):±1

尺寸:1080×440×590mm ( 炉子)/2000×490×760mm ( 炉子+滑轨)

供气系统主要参数:

外形尺寸:600x600x650mm

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

标准量程(N2):100、200、500sccm; (可根据用户要求定制)

准确度:±1.5%F.S.

线性:±0.5~1.5%F.S.

重复精度:±0.2%F.S.

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Ø6

低真空机组主要参数:

工作环境:5℃~40℃

空气相对湿度≤85%,

工作电电压:220V±10% 50~60HZ

功率:1千瓦

抽气速率:10m³/h

极限真空:5X10-1Pa

工作压力范围为1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值为0.03MPa

容油量:1.1L进气口口径:KF25

排气口口径:KF25