• 产品名称: 铜铟镓硒太阳能薄膜电池专用炉

 

主要特点

    这是一款针对太阳能硒化设计的专用炉,炉体上端腔体可以实现离子增强硒化功能,利用上下腔体内的压差实现硒化气体均匀扩散乘积在基体表面。上腔体温度调节范围50-600度,等离子强度0-500W可调,下腔体0-800度可调。可以定制下腔体连续工作。

 

 技术参数

 

 

功率

上炉体:1.5kw

下炉体:5kw

射频功率

0-500W可调

炉膛尺寸

上腔体:100*100*100mm

下腔体:240*300*100mm

炉膛温度

上腔体:50-600度可调

下腔体:50-800度可调

重量

220Kg

外型尺寸

1200*900*1600mm

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