• 产品名称: 大面积CVD石墨烯生长设备

 

1.设备参数规格:Φ300*2800mm,最大进料量 20K,8温区;

 

2.加热元件:进口KTL电阻丝;

 

3.加热区数量:3-8区(可根据需求定制),使温场更均匀;
4.最高温度室温至1200℃,连续可调;
5.控温方式:人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制;
6.无纸记录:内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据;
7.结构描述:①设备可电动对半开启,自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度.②在进料端配备2路高精度质量流量计系统,准确控制气体流量,可以实现生产工艺拓展和调整。③系统采用自动化工艺流程,设定好工艺一键操作。降低人为因素,工艺可靠性可以达到99.9%;
8.炉管尺寸300MM*3M;
9.腔体采用内控温和外控温相互切换,防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象;
10.设备的正面端面都采用石英密封观察窗;
11.设备配备质量三路质量流量计供气系统;
12.本底真空:机械泵系统:1pa,另外配备微调系统,确保可以在稳定负压下生长石墨烯;
13可实现日产20万平方厘米石墨烯薄膜。

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