• 产品名称: 自动RTP快速升温管式炉BTF-1200C-RTP-100

 


 

 
          加热腔体 加热效果图 内外双管  

 

   

 

 
开启式RTP快速升温管式炉是由我公司自主研发的功能强大的加热设备。该产品采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理,炉体炉管可实现自动分离,炉体上下两半设计,可以自由打开,安全可靠。炉管尺寸100MM,可以直接放下5英寸的材料。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型,表面涂覆高反射率的超高温保护涂层,不仅能够保持其能量的最低损耗,还能增强高温稳定性,可有效减少热能损耗。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内,在完美完成生产工艺的同时,也大大降低了间接污染试样的可能性。并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域,该系统可满足离子注入后的快速退火,也可用于欧姆接触快速合金,还可用于硅化物合金退火,氧化物生长,以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。采用双管设计,是制作石墨烯最好的方法,炉体和炉管可以自由滑动,气体和温度及真空之间可以同步控制,可以同时实现自动化工艺,配上电脑可以对温度、真空和气体流量实现控制。由于可以实现系统化控制,对于操作和实验的重复性会非常有帮助。该设备是实验室必备的一款设备。
   
  
主要技术指标
参数
规格型号
BTF-1200C-RTP-100
 
温度控制
最高温度点
1200
额定温度
1100
稳定状态温度范围
1001050
温度测量精度
±0.2
温度控制重复性
±1
温度控制精确度
±1
温场均匀性
±2
温度状态工艺时间
1001050
最快升温速率
30/S(可根据客户需求定制)
降温速率
1300,可以采用打开炉体降温或移除炉管降温同时启动流量计阀控控制气体冷却
温度控制模式
智能模糊全闭环控制
 
触摸屏尺寸
7"LCD 工控电脑
物理指标
最大功率(KW
16
额定电压
AC380V 50HZ
传感器类型
K
反应腔室外径尺寸
Φ100×580
式样有效空间
3''
抽气端口尺寸
KF25
供气口尺寸
Φ6mm双卡套
冷却方式
自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi0.14kg/cm2– 7psi0.5kg/cm2
外形净尺寸
920×500×560mm
重量
80Kg

 

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