• 产品名称: 小型离子溅射仪

小型离子溅射仪(SBC-12)

文字:[大][中][小] 2013-3-15  浏览次数:2430

 

 

产品简介:
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
技术参数:
玻璃处理室:
Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸:
Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸:
Φ58mm
真空系统:
直联旋片真空泵2L/S
真空检测:
皮氏计
真空保护:
20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体:
空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节
双级旋片式真空泵 RVD-2
抽速:2L/S
极限压力:5×10-2Pa

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