• 产品名称: 供气系统 3路质子

供气系统 3路质子 GMF-3Z

文字:[大][中][小] 2013-3-12  浏览次数:1959
 

 

 

该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

 

 

 

 

配置组件
技术参数
质量流量控制器
工作电压:
185~245V 50HZ
最大输出功率:
18W
流量计标准量程:
100sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)
工作温度:
5~45
工作压差:
0.1~0.5MPa
最大压力:
3MPa
准确度:
±1.5% FS
机械压力表
测量范围:
-0.1~0.15 MPa0.01 MPa/grid
针阀
316不锈钢
混气罐
Φ80×120mm
截止阀
Φ6mm”316不锈钢针阀
尺寸
600×600×650 mm

 

供气系统 3路质子 GMF-3Z使用说明书

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