主要特点:
1.该供气适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。
2.气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
3.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
4.鼓泡器的主要作用是将供气系统输出的作为载气的氢气、氮气或者氩气等气体注入至液态源不锈钢鼓泡器（bubbler）中，携带出需要的各种非腐蚀性液态源的蒸汽，并将其输送至反应腔体，在高温下参与反应生成最终需要的薄膜或者完成相应的化学反应。
5.该设备广泛用于各种使用非腐蚀性液态源蒸汽的CVD，催化反应和活化实验。
主要参数：
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配置组件
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技术参数
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质量流量控制器
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工作电压：
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185~245V 50HZ
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最大输出功率：
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18W
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流量计标准量程：
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100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
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工作温度：
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5~45℃
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工作压差：
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0.1~0.5MPa
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最大压力：
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3MPa
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准确度：
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±1.5% FS
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机械压力表
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测量范围：
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-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
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针阀
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316不锈钢
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混气罐
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Φ80×120mm
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截止阀
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Φ6mm”316不锈钢针阀
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尺寸
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600×600×650 mm
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