主要特点:
1.该供气适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。
2.气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。
3.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。
4.鼓泡器的主要作用是将供气系统输出的作为载气的氢气、氮气或者氩气等气体注入至液态源不锈钢鼓泡器(bubbler)中,携带出需要的各种非腐蚀性液态源的蒸汽,并将其输送至反应腔体,在高温下参与反应生成最终需要的薄膜或者完成相应的化学反应。
5.该设备广泛用于各种使用非腐蚀性液态源蒸汽的CVD,催化反应和活化实验。
主要参数:
配置组件
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技术参数
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质量流量控制器
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工作电压:
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185~245V 50HZ
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最大输出功率:
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18W
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流量计标准量程:
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100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)
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工作温度:
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5~45℃
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工作压差:
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0.1~0.5MPa
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最大压力:
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3MPa
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准确度:
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±1.5% FS
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机械压力表
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测量范围:
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-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
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针阀
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316不锈钢
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混气罐
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Φ80×120mm
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截止阀
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Φ6mm”316不锈钢针阀
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尺寸
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600×600×650 mm
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