• 产品名称: 供气系统 1路质子 2路浮子

供气系统 1路质子 2路浮子 GMF-1Z-2F

文字:[大][中][小] 2013-5-6  浏览次数:1579
 

 

 

该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观,实用,操作简便。流量显示准确,可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

 

 

产品型号
     GMF-1Z-2F
浮子流量计
     10-100ml/min
     16-160ml/min
      25-250ml/min
(浮子流量计的量程可根据用户需要选订)
质量流量控制器
工作电压:
185~245V 50HZ
最大输出功率:
18W
流量计标准量程:
100sccm 200sccm 500sccm
(非特殊指定以氮气标定,量程可选)
工作温度:
5~45
工作压差:
0.1~0.5MPa
最大压力:
3MPa
准确度:
±1.5% FS
机械压力表
测量范围:
-0.1~0.15 MPa0.01 MPa/grid
针阀
 316不锈钢
混气罐
   Φ80×120mm
截止阀
       Φ6mm   316不锈钢针阀
尺寸
        600×600×650 mm

 

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