加热区参数

炉管尺寸：Φ 60/80×1000mm(管径可选)

炉管材质：99高纯刚玉管

最高温度：1700℃

工作温度：1650℃

恒温精度：±1℃

温度均匀性：小于±5℃

升温速度：0-15℃/分钟自由设定

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
炉膛材料：高纯氧化铝多晶纯纤维，不参氧化铝粉，洁净节能。

加热区：300mm

恒温区：150mm

外型尺寸：610×440×720mm

标准配件：刚玉管1根，不锈钢密封法兰1套，氟胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。

密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头）

端口可按实际使用扩展。

备注：可选配1200℃、1400℃、1600℃、1500℃等不同温区的管式炉。

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)：200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

最大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

高真空系统参数

该系统由英国原装进口的前级无油泵，后级分子泵，真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成，此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在封闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。

进口分子泵组： Edward

干湿：完全无油的干式真空泵组

分子泵抽速：61 L/s

前级泵抽速：1.2㎥/h

极限总压：10-7mabr

启动时间：1.5 min

进气口： KF40

冷却方式：空冷

电压：单项，220V

重    量：14.5 Kg

功    率：300 W

泵体体积：250*356*357 mm