• 产品名称: 迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统(型号: BTF-1200C-R-S-PECVD)

 

 

 

一、主要特点:

 

    本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池,提升电池内阻和能量密度,有效解决新能源汽车电池的问题。

1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

2.可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。

3.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。

二、技术参数

1、加热系统:

型号

BTF-1200C-R-S-PECVD

显示模式

10"液晶触屏显示

最高温度

1100

升温速率

10/S

控温精度

±1

加热元件

电阻丝

热电偶

K

控温方式

10"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

炉管尺寸

Φ25*800mm (中间部位尺寸Φ50*225)

炉管转速

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

加热功率

2KW


2、射频电源

 

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

0W~100W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

3、四路质子流量控制系统

外形尺寸

600x600x650mm

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,50sccm,200sccm,and 500sccm量程和数量可选

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.10.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

 

4、低真空机组

空气相对湿度

85%

 

工作环境

5℃~40

 

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

 

功率

1KW

 

抽气速率

10m³/h

 

实验真空

10-1Pa

 

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

 

耐压值

0.03MPa

 

容油量

1.1L

 

进气口口径

KF25

 

排气口口径

KF25

 

噪音

50dB

 

外形尺寸

600×600×600mm

 

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

 

 

配用规管

ZJ-52T电阻规

 

测量范围

10 5 ~10 -1 Pa

 

控制方式

10 3 ~5×10 -1 Pa

 

控制方式

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (DC28V/3A)无感负载

 

通讯接口

USB

 

外形尺寸

1000*400*720mm

                 

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