• 产品名称: 迷你型CVD系统(型号:BTF-1200C-S-CVD)

设备特点:

此款CVD系统是由1200℃开启式迷你真空管式炉、气路系统和低真空机组组成。其特点是炉体小巧(净重只有18Kg),升温速度极快(最快可达到100℃/分钟),它不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便操作简捷使用者可直接将密封腔体移出炉体,加快降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加热区参数:

 

炉管尺寸:外径Φ25/50*600mm  (管径可选)

加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
加热区长度:230mm

恒温区长度: 80mm

工作温度:1100℃
最高温度:1200℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

推荐升温速度:20℃/min

最快升温速度:100℃/min

炉门结构:开启式
工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

额定功率:2KW

外型尺寸:350×290×345 mm

标准配件石英管1根,不锈钢密封法兰1套,硅胶密封圈2套,氧化铝管堵4只高温手套1副坩埚钩1支小保险1

密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)

端口可按实际使用扩展。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数:

 

质量流量计参考量程(N2)100sccm200sccm500sccm1000sccm (量程可选)

准确度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

备注:可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系统参数:

 

国产油泵型号:BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

电源:220v 50hz

电机功率:0.4kw  

进排气连接口:KF25

用油量:1.1L

电机转速:1440rpm

工作环境温度:5-40℃

噪音:≤56db

电阻真空计参数:

1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.测量路数: 1路

4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

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