• 产品名称: BOF-5-100

 

额定功率

5KW

额定电压

AC 220V Single Phase,50/60 Hz

外管尺寸

Φ100*1200mm高纯石英管

常规处理量

0.1-50g

升华区温度

50-800℃

恒温区温度

 

恒温温度随时间和空间的波动不大于±℃

 

 

沉积区区温度

50-500℃

加热区分布

100+200+200+200+100mm

控温方式

数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表,采用模糊型PID

控温点数量

5点独立控温

开启方式

开门式炉体结构上下翻盖液压手动开启

极限真空(洁净系统)

5X10-5Pa

分子泵抽气速率

100L/S

过滤方式

系统采用三级过滤保护装置,分别采用多级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤

本底真空

机械泵系统:1Pa

 

分子泵系统:10-4Pa