• 产品名称: 前端预热法硫化钼制备设备

 

 

 

    前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精确,操作简便。并配有气氛微调装置,可以准确的反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。

 

 

 

硫粉预热器
 
型号BTF-400C
工作温度350℃
最高温度400℃
最快升温速率30℃/min
推荐升温速率10℃/min
控温方式智能化30段可编程控制
工作电压AC220 V
额定功率800W
控温精度±1℃
加热元件电阻丝
 
硫化炉
 
技术参数:
额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v  50/60 Hz
最高温度():1200(1 hour)
持续工作温度():1100
升温速率℃/min):≤50
炉管尺寸mm):
高纯石英管Φ50×1200mm
加热区长度mm):440mm
恒温区长度mm:200mm  
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度():±1
加热元件:电阻丝
供气系统GMF3Z
 
(质子流量计)
重量:35Kg
外形尺寸:600x600x650mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头。
标准量程(N2)50sccm200sccm500sccm 可根据用户要求定制
准确度:±1.5%
线性:±0.51.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.10.5 MPa
最大压力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体             
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/
截止阀:Φ6
 
 
低真空机组VAU-02
 
技术参数:
空气相对湿度≤85%,
工作电电压:220V±10%  50~60HZ 
功率:1千瓦
抽气速率:4L\s
极限真空:4X10-2Pa
实验真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
进气口口径:KF25
排气口口径:KF25
转速:1450rpm
噪音:50dB
外型尺寸:600×600×600mm

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