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特种微距离可调化合物薄膜沉积系统

浏览次数: 日期:2017-01-12

祝贺贝意克公司成功研制了特种微距离可调化合物薄膜沉积系统,该系统使用两块独立控温装置,能实现不同梯度的温度需求;特设三组测温热偶,能精确测定上下加热体及两者中间的实际温度;上下加热体之间的距离可调,可为薄膜沉积提供最好的附着间距;另外该系统使用红外灯管加热,升温速度极快,亦可实现快速退火功能。

 

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