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产品描述
产品参数
主要特点
该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
技术参数
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产品型号
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GMF-1Z-2F
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浮子流量计
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10-100ml/min
16-160ml/min
25-250ml/min
（浮子流量计的量程可根据用户需要选订）
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质量流量控制器
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工作电压：
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185~245V 50HZ
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最大输出功率：
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18W
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流量计标准量程：
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100sccm 、200sccm 、500sccm
（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
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工作温度：
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5~45℃
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工作压差：
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0.1~0.5MPa
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最大压力：
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3MPa
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准确度：
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±1.5% FS
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机械压力表
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测量范围：
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-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
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针阀
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316不锈钢
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混气罐
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Φ80×120mm
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截止阀
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Φ6mm 316不锈钢针阀
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尺寸
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600×600×650 mm
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供气系统 1路质子 1路浮子
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