TEL:400-0033-603
------- 实验室预约 --------
微信公众号
浏览量:
产品描述
产品参数
主要特点
该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
技术参数
|
产品型号
|
GMF-1Z-2F
|
|
|
浮子流量计
|
10-100ml/min
16-160ml/min
25-250ml/min
（浮子流量计的量程可根据用户需要选订）
|
|
|
质量流量控制器
|
工作电压：
|
185~245V 50HZ
|
|
最大输出功率：
|
18W
|
|
|
流量计标准量程：
|
100sccm 、200sccm 、500sccm
（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
|
|
|
工作温度：
|
5~45℃
|
|
|
工作压差：
|
0.1~0.5MPa
|
|
|
最大压力：
|
3MPa
|
|
|
准确度：
|
±1.5% FS
|
|
|
机械压力表
|
测量范围：
|
-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
|
|
针阀
|
316不锈钢
|
|
|
混气罐
|
Φ80×120mm
|
|
|
截止阀
|
Φ6mm 316不锈钢针阀
|
|
|
尺寸
|
600×600×650 mm
|
|
上一篇
3路浮子
供气系统 2路浮子
下一篇