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合肥投资促进局领导调研百思集团产品研发中心
百思集团2018年会集锦
第五届全国储能科学与技术大会
热烈祝贺北京石墨烯论坛2018启动
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产品描述
产品参数
主要特点
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输入电源
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AC220V、50/60HZ
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最高输出功率
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100W（300W可以选配）
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频率
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13.56MHZ
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同调方式
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手动2轴同调方式（可以选配自动）
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靶材
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大小2英寸厚度最大5mm
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靶头到基片距离
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30mm-100mm
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平台转速
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5r/min
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反应腔室
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Φ195*238不锈钢腔室
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填充气体
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氩气或氮气
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进气口接头
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Φ6卡套接头
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观察窗尺寸
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Φ148
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外形尺寸
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560*550*600
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可根据客户要求选配(金银铜等或氧化物靶材)、泵和冷水机3000型。
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