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产品名称

射频电源150W/300W/500W

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产品描述
产品参数

  本产品属管式可定制PECVD零部件,可承接现有管式炉PECVD设备。

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

0W~500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

 

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