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射频电源150W/300W/500W

设备简介:本产品属管式可定制PECVD零部件,可承接现有管式炉PECVD设备。

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  • 主要参数

    · 供电电压:单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

    · 功率稳定度:≤5W

    · 信号频率:13.56 MHz±0.005%

    · 功率输出范围0~500W

    · 最大反射功率:100W

    · 射频输出接口:50Ω, N-type, female

    · 谐波分量:≤-50dBc

    · 整机效率:≥70%

    · 功率因素:≥90%

    · 冷却方式:强制风冷

    质保期

    · 一年质保,终生维护

    · 因人为使用不当/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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