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产品名称

前端预热滑轨PECVD

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产品描述
产品参数

管式炉

炉管尺寸:外径φ50

加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Alloy doped by Mo)

加热区长度:440mm

恒温区长度:200mm(±1℃)

工作温度:1100℃

最高温度:1200℃

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度:±1℃

升温速度:20℃/min

炉门结构:开启式

工作电源:AC220V/50Hz

额定功率:3KW

射频电源

信号频率:13.56MHz±0.005%

功率输出范围:5W-500W

最大反射功率:200W

射频输出接口:5Ω,N-type,female

功率稳定度:±0.1%

谐波分量:-50dbc

供电电压:单相交流(187V-253V),频率50/60Hz

整机效率:≥70%

功率因素:≥90%

冷却方式:强制风冷

供气系统

外形尺寸:600*600*650mm

连接头类型:双卡套不锈钢接头

标准量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm

准确度:±1.5%

线性:±0.5%~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4Sec,电特性:10Sec

工作压差范围:0.1~0.5MPa

最大压力:3MPa

接口:φ6,1/4"

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管:φ6

压力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀:φ6

低真空机组

技术参数:

功率:0.4KW(4级)

极限压力:5*10-1(Pa)

外型尺寸:600*600*650mm

电阻真空计参数:

1.配用规管:电阻规

2.测量范围:1055*10-1Pa

3.测量路数:1路

4.控制范围:5*1035*10-1Pa

5.控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V/3A(或DC28V/3A)无感负载

6.电源:90-260V/50Hz或220V±10%  50Hz

7.功耗:20W

预热炉

工作温度:350℃

最高温度:400℃

最快升温速率:30℃/min

推荐升温速率:10℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

 

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