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此款智能型等离子体增强化学沉积系统的高温真空炉加热腔体采用进口氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于制备大面积高质量低成本二维层状半导体材料及其异质结。加热元件选用上下共16组电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制;测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
本设备集真空系统、气路系统、射频源、自动推进、加热炉于一体，并将所有控制集成于触屏操控界面之中，使设备更加智能化，便于使用者操作。增大了加热区的长度及温区数量,延长了炉管，使辉光长度达到了2000mm，同时保持很好的辉光均匀性。
最高温度
1200℃
使用温度
≤1100℃
炉膛有效尺寸
Φ100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料
氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型
K型热电偶
控温精度
±1℃
控温方式
30段可编程控温，PID参数自整定，7’工控屏控制
加热长度
200+200+200mm
恒温长度
400mm
加热原件
电阻丝
供电电源
单相，220V，50Hz
2、PE射频电源
功率输出范围
0W~500W
最大反射功率
100W
射频输出接口
50 Ω, N-type, female
功率稳定度
≤5W
谐波分量
≤-50dbc
供电电压
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷却方式
强制风冷
3、三路质子流量控制系统
连接头类型
双卡套不锈钢接头
标准量程（N2)
50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）
准确度
±1.5%F.S
线性
±1%F.S
重复精度
±0.2%F.S
响应时间
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围
0.1～0.5 MPa
最大压力
3MPa
接口
Φ6,1/4''
显示
4位数字显示
工作环境温度
5~45高纯气体
压力真空表
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀
Φ6
内外双抛不锈钢管
Φ6
4、低真空机组
空气相对湿度
≤85%
工作环境
5℃～40℃
工作电电压
220V±10% 50~60HZ
功率
1KW
抽气速率
10m³/h
极限真空
5X10-1Pa
工作压力范围
1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值
0.03MPa
容油量
1.1L
进气口口径
KF25
排气口口径
KF25
噪音
50dB
连接方式
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
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