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智能型双温区等离子化学气相沉积系统 BTF-1200C-II-AS-500A
预热器参数 |
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工作温度 |
400℃ |
最高温度 |
1100℃ |
最快升温速率 |
≤30℃/min |
推荐升温速率 |
10℃/min |
控温方式 |
智能化30段可编程控制 |
工作电压 |
AC220V |
额定功率 |
800W |
控温精度 |
±1℃ |
加热元件 |
电阻丝 |
加热区参数 |
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最高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
1100℃ |
加热区长度 |
400mm(200+200mm) |
恒温区长度 |
200mm(100+100mm) |
最大升降温速率 |
≤30℃/min |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 |
±1℃ |
加热元件 |
电阻丝(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo) |
炉管 |
高纯度石英管Φ25\50\60\80\100\150x2000mm (管径可选) |
标准配件 |
石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,氟胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支 |
尺寸 |
约2000×600×1500 mm(长、宽、高) |
备注 |
可选配单温区、双温区、三温区等加热区 |
射频源主要参数 |
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信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
功率输出范围 |
0~500W |
最大反射功率 |
100W |
射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率稳定度 |
≤5W |
谐波分量 |
≤-50dbc |
供电电压 |
单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ |
整机效率 |
≥70% |
功率因素 |
≥90% |
冷却方式 |
强制风冷 |
备注 |
可根据腔体大小选择射频源功率 |
气路系统参数 |
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质量流量计参考量程(N2) |
100sccm,200sccm、500sccm(量程可选) |
准确度 |
±1.5% |
线性 |
±0.5~1.5% |
重复精度 |
±0.2% |
响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
备注 |
可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计 |
低真空系统参数 |
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国产油泵型号 |
BSV-10 |
抽速 |
10m³/h |
极限真空度 |
5*10-1pa |
电源 |
220V 50Hz |
电机功率 |
0.4KW |
进排气连接口 |
KF25 |
用油量 |
1.1L |
电机转速 |
1440rpm |
工作环境温度 |
5-40℃ |
噪音 |
≤56db |
电阻真空计参数 |
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配用规管 |
ZJ-52T电阻规 |
测量范围 |
105 ~10-1Pa |
测量路数 |
1路 |
控制范围 |
5×103 ~5×10-1Pa |
控制方式 |
继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
电源 |
90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
功耗 |
20W |