迷你型CVD系统（型号：BTF-1200C-S-CVD）

加热区参数

炉管尺寸：外径Φ25/50*600mm (管径可选)

加热元件:电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
加热区长度：230mm

恒温区长度: 80mm

工作温度：1100℃
最高温度：1200℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

推荐升温速度：20℃/min

最快升温速度：≤100℃/min

炉门结构：开启式
工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率：2KW

外型尺寸：350×290×345 mm

标准配件：石英管1根，不锈钢密封法兰1套，硅胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。

密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头）

端口可按实际使用扩展。

气路系统参数

质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

最大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数

国产油泵型号：BSV-10

抽速：10m³/h

极限真空度：5*10-1pa

电源：220v 50hz

电机功率：0.4kw  

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1.配用规管：ZJ-52T电阻规，

2.测量范围： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

3.测量路数： 1路

4.控制范围： 5×10³ ～5×10 ^-1 Pa，

5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W