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产品描述
产品参数
1、双层石英管,专为生长大尺寸薄膜石墨烯研制的,也应用于有快速升温需要的CVD实验。
2、安装双向导柱滑轨,左右拉动炉体能保证让样品达到快速的升降温。
额定功率 |
7KW |
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额定电压 |
AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
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最高温度 |
1200℃(1hr) |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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最快升&降温速率 |
≤20℃/S |
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炉管尺寸 |
高纯石英管 异形内管尺寸:Φ100×1000mm 外管尺寸:Φ130×1800mm |
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加热区长度 |
300+300+300mm |
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恒温区长度 |
150+200+150mm |
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可移动范围 |
1760mm |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝(进口康泰尔电阻丝) |
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法兰 |
进气端法兰 |
出气端法兰 |
进出气口选配 |
质量流量计量程 |
50sccm,100sccm,100sccm,200sccm.(量程可根据客户要求配置) |
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标准配置 |
石英管2根(内管和外管各1根),不锈钢密封法兰1套,硅胶密封圈2套,莫来石管堵2只,高温手套1副,坩埚钩1支 |
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可选附件 |
石英托架,石英舟,石英钩,电阻真空计,手动挡板阀,波纹管,卡箍,真空泵,供气系统 |
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认证标准 |
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尺寸 |
1080×440×590mm (炉子) 2000×490×760mm(炉子+滑轨) |
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包装尺寸 |
2070×570×1110(木箱包装) |
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净重 |
195Kg |
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毛重 |
260Kg |
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