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小型蒸镀设备

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产品名称

小型蒸镀设备

设备简介：这款蒸镀仪是我公司研发的一款微型高真空蒸镀薄膜生长设备，利用高真空下材料分子束缚分离后的动力实现蒸发，可通过蒸发台和基体之间的距离调节实现对分子的筛选，从而制备出高质量的薄膜。广泛用于钙钛矿电池行业、OLED行业。设备最高真空可以到5x10⁻⁴Pa，最高温度800度，蒸发台和基体之间距离可调等功能。

所属分类

蒸镀设备

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产品描述

产品参数

最高温度	800℃
控温精度	±1℃
设备最高真空度	5x10^-4Pa（配分子泵）
基体上下位置可调行程	0-50mm
基体台旋转	可选
设备进出气口	已预留
控温方式	30段模糊型PID
通讯接口方式	232
报警功能	超温、断偶

无