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升华仪 BOF-3-50
加热元件 |
进口KTL电阻丝 |
加热区数量 |
3区,3点独立控温 |
温区长度 |
200mm+300mm+200mm |
升华区及保温区温度 |
室温至800℃,连续可调 |
控温方式 |
人机界面加PLC控制,7寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制,温度可调±1℃ |
无纸记录 |
内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据 |
结构描述 |
设备对半开启 |
在进料端配备高精度质量流量计,准确控制气体流量,可以实现生产工艺拓展和调整 |
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系统采用自动化工艺流程,设定好工艺一键操作。降低人为因素,工艺可靠性可以达到99.9% |
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过滤方式 |
系统采用多级过滤保护装置,分别采用5级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝肼过滤 |
腔体采用内外石英管装置,结构可保证真空室管不受污染,保持较高的真空度。易于清洗,内层料管分段升华后各段料容易区分,能确保证产品和纯度和产率(最大升华率97%,与材料和配置有关),配升华管,可互相精密连接,内管一头大一头小,两两之间可对接,每段长度和加热炉各温区匹配。 |
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抽真空端采用了主管与分子泵直连,确保实验中高真空的需求,工作真空:在升华区和保温区温度约为300℃±10℃,不加载任何样品条件下,半小时内真空度≤10-4Pa。 |
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在涡轮分子泵与主加热石英管之间有冷阱吸收器,油泵前端配置粉尘过滤,油泵出气口配置油雾过滤器,配冷却循环泵使用,其输出温度≤-30℃。 |
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细节展示 |
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1、炉管两端带有观察窗 |
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2、过滤保护装置(示意图) |
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3、分子泵组 |
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品牌 |
安捷伦 |
型号 |
TPS-Flex |
前级泵 |
MD1 |
隔膜泵前级泵抽速(50HZ) |
1.2m3/h |
前级泵噪音 |
50HZ |
典型值 |
40dBa |
进气口法兰 |
KF40对N2 |
抽速(KF40口径) |
49 l/s |
分子泵转速 |
81,000rpm |
分子泵控制器 |
Rack Controller |
工作温度 |
5℃到35℃ |
烘烤温度 |
80℃ |
在进气口处输入电压和频率 |
90V to 240V AC; 50 Hz / 60 Hz |
通讯接口 |
RS232,9针接口,T-Plus软件 |
4、FRG700 全量程规管:口径为 KF25 |