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省发改委总工程师笪艺武一行调研百思集团
每一个粽要时刻,都想与你分享
每一个粽要时刻,都想与你分享   每年五月五,满城粽飘香,为弘扬传统文化,体现百思集团对员工的温暖与关怀,端午节,百思集团准备了精美的端午礼盒,以表达对员工们辛勤工作的感谢和节日的美好祝愿。   一盒粽子一片情,点滴关怀暖人心。百思集团行政部,给每位员工派发端午粽子礼盒。礼物饱含了公司对员工满满的祝福与关怀。在礼品派发过程中,员工们的喜悦之情溢于言表,大家都深深体会到公司对员工生活的关爱,大家都觉
合肥市市委书记来百思集团调研
合肥投资促进局领导调研百思集团产品研发中心
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安徽贝意克设备技术有限公司

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等离子体增强回转PECVD系统 /Plasma enhanced rotational PECVD system
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等离子体增强回转PECVD系统 /Plasma enhanced rotational PECVD system

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产品描述
产品参数

  主要特点Main features:

  The whole experimental cavity is in the glow generation region, uniform equivalent glow, this technology is a good solution to the traditional plasma work instability, In this way, the range and intensity of ionization is 100 times of that of the traditional PECVD, to the uneven accumulation of materials .

  我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象

  Use a quartz tube of a special shape (thin middle between two ends) as a reaction chamber for chemical vapor deposition.The furnace tube can rotate 360 degrees, Quartz stopper on the inner wall of the tube can help stir-fry the powder material and sintered more evenly, and the furnace body can be tilted to the left and right at a large angle, which is convenient to feed in and out, and the inclined angle is adjustable from 0 to 35 degree.

  该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0~35°可调。

  Widely used in the preparation of graphene at low temperature and the carbon coating experiment of powder material.

  此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。

 

  技术参数Technical Parameters

Furnace加热炉

Max. Tem

1200℃

Heating zone length电压

440mm

Constant zone length

200mm



Temperature Controller

控温方式

PID automatic control and auto-tune function.

 模糊PID控制和自整定调节

30 programmable segments for precise thermal processing.

智能化30段可编程控制

Built-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 

超温和断偶报警功能

Operation interface is 7 "industrial control computer

操作界面为7”工控电脑

Heating Elements

加热元件

Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

Temperature Accuracy

控温精度

+/- 1

Processing tube

炉管

Size:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

Furnace tube rotation rate:3~13r/min

炉管转速:3~13r/min

等离子体增强回转PECVD系统

Furnace body inclination angle

0~35°(adjustable)

PE source PE源

Signal frequency信号频率

13.56 MHz±0.005%

Power output range功率输出范围

0-500W

RF output interface射频输出接口

50 Ω, N-type, female

Power stability功率稳定性

≤5W

Gas supply system气路系统

High precision mass Flowmeter(Range optional)

高精度质量流量计(量程可选)

等离子体增强回转PECVD系统

Accuracy准确度

±1.5%

Response accuracy响应精度

±0.2%

Response time响应时间

Gas characteristics:1~4sec

  气特性

Electrical characteristics:10sec

  电特性

Working pressure difference range工作压差范围

0.1~0.5MPa

Max. pressure最大压力

3MPa

Connection 连接头类型

Φ6mmDouble clasp stainless steel joint

Φ6mm双卡套不锈钢接头

等离子体增强回转PECVD系统

Vacuum unit真空系统

KF25 series bellows and manual stopper valves

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

等离子体增强回转PECVD系统 等离子体增强回转PECVD系统

Vacuum up to10-1Pa

真空度可达10-1Pa

The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester

数显真空测试仪可直观的显示数值

 

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