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我与贝意克的故事---人物专访
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产品名称
小型回转PECVD系统 BTF-1200C-R-S-PECVD
所属分类
产品中心
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产品描述
产品参数
加热炉 |
|
最高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
≤1100℃ |
炉管尺寸 |
Φ25*800(中间部位尺寸Φ50*225) |
炉管转速 |
3~13r/min |
炉体倾斜角 |
0~35°(可调) |
控温精度 |
±1℃ |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节 智能化30段可编程控制 超温和段偶报警功能 10”液晶触屏与工控仪表双重控温 |
加热元件 |
电阻丝(掺钼铁铬铝合金) |
PE源 |
|
信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
功率输出范围 |
0~150W |
射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率稳定度 |
≤5W |
气路系统 |
|
供气 |
高精度质量流量计(量程可选) |
准确度 |
±1.5%F.S |
响应精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
连接头类型 |
Φ6mm双卡套不锈钢接头 |
真空系统 |
|
连接 |
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀 |
极限真空度 |
可达10-1Pa |
显示 |
数显真空测试仪可直观的显示数值 |
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