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产品名称
小型回转PECVD系统 BTF-1200C-R-S-PECVD
所属分类
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产品描述
产品参数
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加热炉 |
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最高温度 |
1200℃ |
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使用温度 |
≤1100℃ |
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炉管尺寸 |
Φ25*800（中间部位尺寸Φ50*225）
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炉管转速 |
3~13r/min |
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炉体倾斜角 |
0~35°（可调） |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节 智能化30段可编程控制 超温和段偶报警功能 10”液晶触屏与工控仪表双重控温 |
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加热元件 |
电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
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PE源 |
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信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
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功率输出范围 |
0~150W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
≤5W |
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气路系统 |
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供气 |
高精度质量流量计（量程可选）
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准确度 |
±1.5%F.S |
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响应精度 |
±0.2%F.S |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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连接头类型 |
Φ6mm双卡套不锈钢接头
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真空系统 |
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|
连接 |
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀
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极限真空度 |
可达10-1Pa |
|
显示 |
数显真空测试仪可直观的显示数值 |
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等离子体增强回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD
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