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省发改委总工程师笪艺武一行调研百思集团
每一个粽要时刻,都想与你分享
每一个粽要时刻,都想与你分享   每年五月五,满城粽飘香,为弘扬传统文化,体现百思集团对员工的温暖与关怀,端午节,百思集团准备了精美的端午礼盒,以表达对员工们辛勤工作的感谢和节日的美好祝愿。   一盒粽子一片情,点滴关怀暖人心。百思集团行政部,给每位员工派发端午粽子礼盒。礼物饱含了公司对员工满满的祝福与关怀。在礼品派发过程中,员工们的喜悦之情溢于言表,大家都深深体会到公司对员工生活的关爱,大家都觉
合肥市市委书记来百思集团调研
合肥投资促进局领导调研百思集团产品研发中心
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小型回转PECVD系统BTF-1200C-R-S-PECVD/Small rotary type PECVD
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小型回转PECVD系统BTF-1200C-R-S-PECVD/Small rotary type PECVD

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产品描述
产品参数

  主要特点Main features

  该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

  The tube of the equipment can be rotated 360 degrees, and the quartz baffle on the inner wall of the tube helps the powder to be turned over to help the sintering to be more uniform;

  可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间;

  It can be tilted from left to right at a large angle to facilitate the discharge. The tilt angle is between 0~35°.

  该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象;

  The device is a fully automated Plasma Enhanced CVD System (PECVD),can achieve continuous sliding temperature zones and to continuously control the temperature and plasma intensity.Equipped with vacuum unit,can realize experiments under low pressure conditions, such as low temperature graphene and carbon nanotube growth. PECVD system enables the entire experimental cavity to be in the glow generation area, and the glow is evenly equivalent. This technique solves the unstable state of the traditional plasma operation, so the range and intensity of ionization. It is a hundred times more than traditional PECVD and solves the problem of uneven material accumulation.

  本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前最高端的金属复合材料制备设备。

  Used for prepare metal composite graphene material,is the most high-end preparation equipment for metal composite material

  

  技术参数Technical Parameters

Furnace加热炉

Max. Temp

1100



Temperature Controller

控温方式

lPID automatic control and auto-tune function.

模糊PID控制和自整定调节

l30 programmable segments for precise thermal processing.

智能化30段可编程控制

lBuilt-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 

超温和断偶报警功能

l10" LCD touch screen and industrial instrumentation dual temperature control

10"液晶触屏与工控仪表双重控温

Heating Elements

加热元件

·Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

Temperature Accuracy

控温精度

+/- 1℃

Processing tube

炉管

·Size:Φ25*800(middle sizeΦ50*225)

尺寸:Φ25*800(中间部位尺寸Φ50*225)

Furnace tube rotation rate:3~13r/min

炉管转速:3~13r/min

Furnace body inclination angle

0~35°(adjustable)

PE source PE源

Signal frequency信号频率

13.56 MHz±0.005%

Power output range功率输出范围

0-150W

RF output interface射频输出接口

50 Ω, N-type, female

Power stability功率稳定性

≤5W

Gas supply system气路系统

High precision mass Flowmeter(Range optional)

高精度质量流量计(量程可选)

Accuracy准确度

±1.5%

Response accuracy响应精度

·±0.2%

Response time响应时间

Gas characteristics:1~4sec

气特性

Electrical characteristics:10sec

电特性

Working pressure difference range工作压差范围

0.1~0.5MPa

Max. pressure最大压力

·3MPa

Connection 连接头类型

Φ6mmDouble clasp stainless steel joint

Φ6mm双卡套不锈钢接头

Vacuum unit真空系统

KF25 series bellows and manual stopper valves

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

Vacuum up to10-1Pa

真空度可达10-1Pa

The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester 

数显真空测试仪可直观的显示数值

 

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