小型回转PECVD系统 BTF-1200C-R-S-PECVD

加热炉

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉管尺寸

Φ25*800（中间部位尺寸Φ50*225）

炉管转速

3~13r/min

炉体倾斜角

0~35°（可调）

控温精度

±1℃

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和段偶报警功能

10”液晶触屏与工控仪表双重控温

加热元件

电阻丝（掺钼铁铬铝合金）

PE源

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0~150W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

气路系统

供气

高精度质量流量计（量程可选）

准确度

±1.5%F.S

响应精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

真空系统

连接

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

极限真空度

可达10^-1Pa

显示

数显真空测试仪可直观的显示数值