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我与贝意克的故事---人物专访
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最新:ESI大学及材料学科排行榜发布!
近日,科睿唯安公布了ESI最新统计数据。ESI收录了12000多种学术期刊上发表的SCIE和SSCI近十年发表的论文和被引数据,具有广泛的代表性,已经被全球普遍认可。
中国大陆一共418所高校有学科进入全球前1%,其中新增9所,无退出。新增高校为:西南民族大学、上海纽约大学、江苏海洋大学、宁波工程学院、天津大学-新加坡国立大学福州联合学院、陕西中医药大学、湖南工程学院、湖北经济学院、山东工商学院。
展会邀约 | 贝意克与您相约2023中国国际先进陶瓷展览会
2023中国国际粉末冶金、硬质合金与先进陶瓷展览会将于2023年5月31日至6月2日在上海世博展览馆H1&H2举行。作为我国材料装备行业标杆企业的贝意克设备也将携旗下产品参加此次展会,展位号E662,欢迎各界朋友莅临展位参观洽谈。

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小型回转PECVD系统 BTF-1200C-R-S-PECVD
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产品名称

小型回转PECVD系统 BTF-1200C-R-S-PECVD

设备型号:BTF-1200C-R-S-PECVD 设备简介:BTF-1200C-R-S-PECVD是一款小型回转PECVD,该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间;该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象;本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前最高端的金属复合材料制备设备。
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产品描述
产品参数

加热炉

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉管尺寸

Φ25*800(中间部位尺寸Φ50*225)

炉管转速

3~13r/min

炉体倾斜角

0~35°(可调)

控温精度

±1℃

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和段偶报警功能

10”液晶触屏与工控仪表双重控温

加热元件

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

PE源

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0~150W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

气路系统

供气

高精度质量流量计(量程可选)

准确度

±1.5%F.S

响应精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

真空系统

连接

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

极限真空度

可达10-1Pa

显示

数显真空测试仪可直观的显示数值

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