连续回转PECVD系统 BTF-1200C-RP-PECVD

加热系统

功率

4KW

电压

AC 220V  50/60Hz

最高温度

1200℃

使用温度

1100℃

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

250mm

控温精度

±1℃

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和断偶报警功能

操作界面为10"液晶触屏控制

炉管尺寸

Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm

炉管转速

3~60r/min

倾斜角度

0~35°

Plasma系统

本系统借助于辉光放电产生等离子体，辉光放电等离子体中，电子密度高，通过反应气态放电，有效利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式

进料系统

送料系统速度连续可调，停止送料且炉体倾斜最大时，物料不会从送料系统外漏，送料系统方便拆卸，拆卸后可手动加料，设备可正常运行

出料系统

出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料

气体控制系统

该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的，也可以独立控制，质量流量计安装于密封的可移动的机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成

低真空系统

该系统配备真空机械泵，可以抽真空，可以让设备在真空环境下进行反应

气料分离系统

该系统可以让设备在充气体保护或者抽真空时，实现气体与物料的分离

过滤系统

该系统可防止物料进入真空泵，保证真空泵的正常运行

炉管转到系统

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行