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回转PECVD BTF-1200C-R-PECVD
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产品名称

回转PECVD BTF-1200C-R-PECVD

设备型号:BTF-1200C-R-PECVD 设备简介:本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池,提升电池内阻和能量密度,有效解决新能源汽车电池的问题。设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。
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产品描述
产品参数

1、该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;
2、可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间;
3、该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。

 

供电电源

220V  50Hz

加热功率

3KW

最高温度

1100℃

升温速率

10℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

控温方式

7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

炉管尺寸

异型管:两端Φ60*420mm,中间Φ100*360mm

炉管转速

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

射频功率输出范围

0~500W

供气系统

标配三路质量流量计(50/100/200sccm)(量程可选)

通讯接口

USB

外形尺寸

1600*650*1400mm

设备净重

约220Kg

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