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卷对卷薄膜石墨烯生长设备 ROLL-TO-ROLL

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产品名称

卷对卷薄膜石墨烯生长设备 ROLL-TO-ROLL

设备简介：基于广大科研界对实现大面积单层石墨烯薄膜在工业铜箔基底上卷对卷宏量制备的需求,我公司利用一种新型等离子增强卷对卷连续快速生长石墨烯薄膜的方法，设计并研制了可达到中试水平的石墨烯卷对卷化学气相沉积系统，通过对石墨烯成核与生长的调控实现高品质石墨烯薄膜生长;卷对卷热压印-电化学快速鼓泡转移方法转移，避免了铜箔刻蚀的常规转移工艺，实现了石墨烯从铜箔生长基底直接向工业用 PET 柔性透明塑料基底的连续化无损转移。该设备在真空条件下，通过射频电源作用于真空腔室内的稀薄气体，形成等离子体等效辉光作用(本公司PECVD专利)，利用等离子体的场能部分代替了热能，从而降低石墨烯生长温度，改善工艺条件。通过对石墨烯成核与生长的调控实现高品质石墨烯薄膜生长。该方法使用铜箔作为基底，电机带动铜箔在密闭生长条件下运动，经过第一温区(退火区)处理后的铜箔;在第二、第三温区(生长区)石墨烯将沉积在铜箔上，并通过冷却装置后收紧成卷。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长。

所属分类

卷对卷石墨烯膜生长设备

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产品描述

产品参数

电源	110V/220V 50/60Hz
功率	6KW
最高温度	1200℃（＜1hr）
工作温度	1100℃
加热区长度	200+200+200mm
恒温区长度	400mm
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝（掺钼铁铬铝合金）
炉管	石英管 100（外径）*1700mm
铜箔基底宽度	≤80mm
铜箔前行速度	8-50cm/min（可调）
射频信号频率	13.56MHz±0.005%W
真空度	10^-1Pa
质保	一年质保，终生维护（消耗品如炉管，O型圈不在质保范围内）
应用	气路系统内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量
	设静态混气室，有助于气体充分混合，按要求配比
	配套石墨烯卷对卷覆膜、剥离设备如下图

细节图示意	整体结构
细节图示意	分区

无