小型滑轨式PECVD系统 BTF-1200C-S-SL-PECVD

加热系统

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ50mm（炉管直径可根据实际需求定制）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序

加热区长度

230mm

恒温区长度

100mm

加热元件

电阻丝

供电电源

单相，220V  50Hz

PE系统

功率输出范围

0W~150W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N₂)

50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6，1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃～40℃

工作电压

220V

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10^-1Pa（空载冷态）

工作压力范围

1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连