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省发改委总工程师笪艺武一行调研百思集团
每一个粽要时刻,都想与你分享
每一个粽要时刻,都想与你分享   每年五月五,满城粽飘香,为弘扬传统文化,体现百思集团对员工的温暖与关怀,端午节,百思集团准备了精美的端午礼盒,以表达对员工们辛勤工作的感谢和节日的美好祝愿。   一盒粽子一片情,点滴关怀暖人心。百思集团行政部,给每位员工派发端午粽子礼盒。礼物饱含了公司对员工满满的祝福与关怀。在礼品派发过程中,员工们的喜悦之情溢于言表,大家都深深体会到公司对员工生活的关爱,大家都觉
合肥市市委书记来百思集团调研
合肥投资促进局领导调研百思集团产品研发中心
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DM-200真空蒸发镀膜机

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产品描述
产品参数

用途:

本设备是我公司研发用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。

主要技术参数:

1. 真空室:∅220mm*H380mm(标配380mm高,若需要LIFT-OFF工艺腔体需加工至500);2. 最大可镀工件直径:60*60mm,配抽拉式样品台,样品可旋转;另配备铜基板样品台;

3. 极限真空度:优于5*10-5Pa(机械泵系统)、8*10-5Pa(分子泵系统);4. 抽气时间:大气压~6*10-4Pa小于300min5. 蒸发:电阻式蒸发电极(2对)   功率:2KW;配备1套数显蒸发电源,可对两组蒸发源进行切换使用。

6. 开启方式:正面开门结构,便于换丝及装料;7. 真空系统:机械泵真空系统(机械泵+分子泵系统选配);

8. 水冷循环系统 0.5P

 

设备结构介绍:

该设备由真空室、真空机组和电气系统组成

  1. 真空室

圆形形腔体,侧部抽气,正面开门。不锈钢材质,配φ100观察窗(含防污挡板)、预抽接口、充气接口;内部有底板、蒸发源(两组蒸发源相互隔离避免交叉污染),蒸发源上配有手动挡板装置等;

  1. 真空系统及进气

采用110L分子泵+4L旋片式机械泵。采用真空波纹管连接,配有复合式数显真空测量仪表。

可根据需要选配流量计,用于进气流量精确控制。

  1. 电气系统

电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构,有效防止误操作发生。系统配有1套蒸发电源,通过切换选择上电。

  1. 膜厚测量装置:采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套(选配)。

蒸发示意图

 

气路原理图

 

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