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产品描述
产品参数
主要特点
该设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。完全彻底地清除样品表面的有机污染物。定时处理、快速处理、清洗效率高。绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。
技术参数
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反应舱规格 |
Φ350*L600mm(石英材质) |
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反映舱有效容积 |
54L |
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密封法兰 |
可视化观察窗折页开门结构 |
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输入电源 |
220V/50Hz |
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整机输入功率 |
500W |
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射频功率 |
0-500W（连续可调） |
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射频频率 |
13.56MHz |
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常用工作气体 |
空气、氩气、氮气或混合气体等 |
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进气口 |
Φ6双卡套接口 |
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整机规格 |
长*宽*高：800*400*1050mm |
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整机重量 |
150KG |
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等离子溅射仪
等离子清洗机-BMS-II-150
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