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主要特点
该设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。完全彻底地清除样品表面的有机污染物。定时处理、快速处理、清洗效率高。绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。
技术参数
反应舱规格
Φ350*L600mm(石英材质)
反映舱有效容积
54L
密封法兰
可视化观察窗折页开门结构
输入电源
220V/50Hz
整机输入功率
500W
射频功率
0-500W（连续可调）
射频频率
13.56MHz
常用工作气体
空气、氩气、氮气或混合气体等
进气口
Φ6双卡套接口
整机规格
长*宽*高：800*400*1050mm
整机重量
150KG
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