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主要特点
输入电源
AC220V、50/60HZ
最高输出功率
100W（300W可以选配）
频率
13.56MHZ
同调方式
手动2轴同调方式（可以选配自动）
靶材
大小2英寸厚度最大5mm
靶头到基片距离
30mm-100mm
平台转速
5r/min
反应腔室
Φ195*238不锈钢腔室
填充气体
氩气或氮气
进气口接头
Φ6卡套接头
观察窗尺寸
Φ148
外形尺寸
560*550*600
可根据客户要求选配(金银铜等或氧化物靶材)、泵和冷水机3000型。
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