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产品描述
产品参数
主要特点
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输入电源 |
AC220V、50/60HZ |
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最高输出功率 |
100W（300W可以选配） |
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频率 |
13.56MHZ |
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同调方式 |
手动2轴同调方式（可以选配自动） |
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靶材 |
大小2英寸厚度最大5mm |
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靶头到基片距离 |
30mm-100mm |
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平台转速 |
5r/min |
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反应腔室 |
Φ195*238不锈钢腔室 |
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填充气体 |
氩气或氮气 |
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进气口接头 |
Φ6卡套接头 |
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观察窗尺寸 |
Φ148 |
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外形尺寸 |
560*550*600 |
可根据客户要求选配(金银铜等或氧化物靶材)、泵和冷水机3000型。
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