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产品名称

等离子溅射仪

所属分类
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产品描述
产品参数

  主要特点

输入电源

AC220V、50/60HZ

最高输出功率

100W(300W可以选配)

频率

13.56MHZ

同调方式

手动2轴同调方式(可以选配自动)

靶材

大小2英寸厚度最大5mm

靶头到基片距离

30mm-100mm

平台转速

5r/min

反应腔室

Φ195*238不锈钢腔室

填充气体

氩气或氮气

进气口接头

Φ6卡套接头

观察窗尺寸

Φ148

外形尺寸

560*550*600

  可根据客户要求选配(金银铜等或氧化物靶材)、泵和冷水机3000型。

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
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