技术指标

· 工作电压：AC 220V±10%，50/60 Hz

· 功率：1KW

· 环境温度：5~32℃

· 空气相对湿度：≤85℃

· 系统整体极限真空度：5.0 x 10^-5Pa

· 实验真空度：5.0 x 10^-3Pa

· 外形尺寸：600 x 600 x 650mm

机械泵

· 抽气速率：4L/s

· 容油量：1.1L

· 电机功率：400W

· 极限压强：6×10^-2Pa

分子泵

· 抽气速率：100L/s

· 极限压强：6×10^-6Pa

· 启动时间：＜2min

· 额定转速：4300转/分

· 冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷

分子泵控制器

· 电压：220V±22V

· 启动电流：≤7A

· 输入频率：47Hz - 63Hz

· 最大输出功率：≤150W

· 最大加速电压：≤40V

· 加速时间：≤3min

· 频率（双速）：高速705Hz±10Hz；低速430Hz±5Hz

复合真空计

· 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

· 工作模式：手动/自动

电阻单元参数

· 测量范围：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

· 有效范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

· 控制范围：2.5×10^>3Pa~5.0×10^-1Pa

电离单元参数

· 可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

· 有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

· 控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

· 规管除气方式：焦耳去气

其他参数

· 控制路数：4

· 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

· 控制精度：±1%

· 采样时间：1s

· 电源：220V±10% 50Hz

· 功耗：50W

· 使用环境温度：0℃~45℃

· 湿度：≤85%

连接管路

· 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分不包含在内

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内