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贝意克学术论文奖荐读 | 宁波大学 王冰坤
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产品名称
卷对卷连续化走丝BN沉积系统 RTR-1400C-III-60
所属分类
非标定制
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数量
-
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产品描述
产品参数
|
额定功率 |
12kW |
|
额定电压 |
三相五线制AC220/380V |
|
最高温度 |
1400℃ |
|
持续工作温度 |
室温-1300℃ |
|
升温速率 |
5-10℃/min |
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炉管尺寸 |
刚玉管Φ60*1600mm
|
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加热区长度 |
200+200+200mm |
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控温方式 |
10寸液晶屏触摸控制（模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能） |
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控温精度 |
±1℃ |
|
热电偶 |
S型热电偶3根 |
|
加热元件 |
硅碳棒 |
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卷丝筒直径 |
75mm |
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极限真空度 |
≤10Pa |
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压升率 |
≤1Pa/min |
|
压力传感器 |
英福康 PCG550 |
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走丝速度 |
10-100cm/min |
|
供气系统 |
6路供气 |
|
真空系统 |
罗茨泵+机械泵 |
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