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卷对卷连续化走丝BN沉积系统 RTR-1400C-III-60
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产品名称

卷对卷连续化走丝BN沉积系统 RTR-1400C-III-60

设备型号:RTR-1400C-III-60 设备简介:该设备为我司研发用于材料连续生长的专用设备,此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉,它由高温生长加热系统,真空密封腔室,刚玉管,SiC纤维卷绕部件,自动化控制系统组成,两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室(即收放卷的密封装置),收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮,所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点。
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产品描述
产品参数

额定功率

12kW

额定电压

三相五线制AC220/380V

最高温度

1400℃

持续工作温度

室温-1300℃

升温速率

5-10℃/min

炉管尺寸

刚玉管Φ60*1600mm

加热区长度

200+200+200mm

控温方式

10寸液晶屏触摸控制(模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能)

控温精度

±1℃

热电偶

S型热电偶3根

加热元件

硅碳棒

卷丝筒直径

75mm

极限真空度

≤10Pa

压升率

≤1Pa/min

压力传感器

英福康 PCG550

走丝速度

10-100cm/min

供气系统

6路供气

真空系统

罗茨泵+机械泵

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