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产品名称
红外快速退火炉系统 BTF-1200C-RTP-CVD
所属分类
半导体专用设备
零售价
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数量
-
+
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产品描述
产品参数
加热系统 |
|
额定电压 |
AC 220V 50/60Hz |
额定功率 |
20KW |
最高温度 |
1200℃ |
额定温度 |
1000℃ |
稳定状态温度范围 |
100~1000℃ |
加热区长度 |
230mm |
恒温区长度 |
120mm |
温度控制重复性 |
±3℃ |
温度控制精确度 |
±0.1℃ |
最快升温速率 |
50℃/s |
控温方式 |
内控温 |
温度过冲 |
≤3℃ |
炉管尺寸 |
高纯石英管Φ90*400*R45mm |
控温方式 |
智能化PLC控制,具有超温和断偶报警功能 |
真空机组主要参数 |
|
空气相对湿度 |
≤85% |
工作电压 |
220V±10% 50~60Hz |
抽气速率 |
165L/min |
实验真空度 |
5.0x10-1Pa(空载、冷态) |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
供气系统主要参数 |
|
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) |
200sccm、500sccm |
准确度 |
±1.5% |
线性 |
±0.5~1.5% |
重复精度 |
±0.2% |
响应时间 |
气特性 1~4Sec,电特性 10Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4” |
显示 |
液晶屏显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
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无
原子层沉积设备 BTF-ALD-100
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