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红外快速退火炉系统 BTF-1200C-RTP-CVD
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产品名称

红外快速退火炉系统 BTF-1200C-RTP-CVD

设备型号:BTF-1200C-RTP-CVD 设备简介:该款设备是由单端封口红外滑轨炉、 高真空机组、供气系统及操作控制界面组成,内控热电偶用于控制RTP炉内的温度,出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取,进气口除用于通入保护气体或反应气体外,还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温,以此获得较高的降温速率。
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产品描述
产品参数

加热系统

额定电压

AC 220V  50/60Hz

额定功率

20KW

最高温度

1200℃

额定温度

1000℃

稳定状态温度范围

100~1000℃

加热区长度

230mm

恒温区长度

120mm

温度控制重复性

±3℃

温度控制精确度

±0.1℃

最快升温速率

50℃/s

控温方式

内控温

温度过冲

3℃

炉管尺寸

高纯石英管Φ90*400*R45mm

控温方式

智能化PLC控制,具有超温和断偶报警功能

真空机组主要参数

空气相对湿度

≤85%

工作电压

220V±10%  50~60Hz

抽气速率

165L/min

实验真空度

5.0x10-1Pa(空载、冷态)

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

供气系统主要参数

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2

200sccm、500sccm

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性 1~4Sec,电特性 10Sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4”

显示

液晶屏显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

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