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产品名称
红外快速退火炉系统 BTF-1200C-RTP-CVD
所属分类
半导体专用设备
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数量
-
+
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产品描述
产品参数
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加热系统 |
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额定电压 |
AC 220V 50/60Hz |
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额定功率 |
20KW |
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最高温度 |
1200℃ |
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额定温度 |
1000℃ |
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稳定状态温度范围 |
100~1000℃ |
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加热区长度 |
230mm |
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恒温区长度 |
120mm |
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温度控制重复性 |
±3℃ |
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温度控制精确度 |
±0.1℃ |
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最快升温速率 |
50℃/s |
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控温方式 |
内控温 |
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温度过冲 |
≤3℃ |
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炉管尺寸 |
高纯石英管Φ90*400*R45mm |
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控温方式 |
智能化PLC控制，具有超温和断偶报警功能 |
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真空机组主要参数 |
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作电压 |
220V±10% 50~60Hz |
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抽气速率 |
165L/min |
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实验真空度 |
5.0x10-1Pa（空载、冷态） |
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容油量 |
1.1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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供气系统主要参数 |
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头
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标准量程（N2） |
200sccm、500sccm |
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准确度 |
±1.5% |
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线性 |
±0.5~1.5% |
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重复精度 |
±0.2% |
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响应时间 |
气特性 1~4Sec，电特性 10Sec |
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工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6，1/4” |
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显示 |
液晶屏显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
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无
原子层沉积设备 BTF-ALD-100
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