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产品名称

材料整体验证机LD-1

所属分类
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产品描述
产品参数

基本信息

项目

参数

备注

基板尺寸

200x200mm/100x100mm

 

旋转速率

0-30 rpm

 

基板高度调节

0-150mm

 

设备整体尺寸

4000x7000x2300mm

 

蒸发舟数量

根据使用情况具体设计

 

低温蒸发源

5-20cc  @400℃

 

高温蒸发源

5-40cc @1400℃

 

前级泵

20000L/min 干泵

可根据工艺选配

主泵

1700 L/s 分子泵

可根据工艺选配

本底真空度

9E-7 Torr

 

 

本系统可满足真空洁净环境下制作OLED相关器件,可配套器件验证,从而整体验证OLED材料性能。

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
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