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产品描述
产品参数
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基本信息 |
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项目 |
参数 |
备注 |
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基板尺寸 |
200x200mm/100x100mm |
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旋转速率 |
0-30 rpm |
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基板高度调节 |
0-150mm |
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设备整体尺寸 |
4000x7000x2300mm |
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蒸发舟数量 |
根据使用情况具体设计 |
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低温蒸发源 |
5-20cc @400℃ |
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高温蒸发源 |
5-40cc @1400℃ |
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前级泵 |
20000L/min 干泵 |
可根据工艺选配 |
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主泵 |
1700 L/s 分子泵 |
可根据工艺选配 |
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本底真空度 |
9E-7 Torr |
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本系统可满足真空洁净环境下制作OLED相关器件，可配套器件验证，从而整体验证OLED材料性能。
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实验级蒸镀机EV400A
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