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产品描述
产品参数
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基本信息 |
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项目 |
参数 |
备注 |
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基板尺寸 |
100x100mm/25x25mm |
根据基板定制 |
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旋转速率 |
0-30 rpm |
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基板高度调节 |
0-150mm |
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设备整体尺寸 |
760x620x2100mm |
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蒸发舟数量 |
6个 |
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低温蒸发源 |
5-10cc @400℃ |
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高温蒸发源 |
5-10cc @1200℃ |
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前级泵 |
6.2 m3/h 干泵 |
可选配 |
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主泵 |
260 L/s 分子泵 |
可选配 |
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本底真空度 |
9E-7 Torr |
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本系统可满足工艺过程验证有机及金属材料，满足研究过程中对于材料真空蒸镀的初期性能参数确认，并可满足两种材料共蒸。
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DM400-III方箱磁控溅射镀膜机
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