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我与贝意克的故事---人物专访
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最新:ESI大学及材料学科排行榜发布!
中国大陆一共418所高校有学科进入全球前1%,其中新增9所,无退出。新增高校为:西南民族大学、上海纽约大学、江苏海洋大学、宁波工程学院、天津大学-新加坡国立大学福州联合学院、陕西中医药大学、湖南工程学院、湖北经济学院、山东工商学院。
展会邀约 | 贝意克与您相约2023中国国际先进陶瓷展览会
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产品描述
产品参数
基本信息 |
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项目 |
参数 |
备注 |
基板尺寸 |
100x100mm/25x25mm |
根据基板定制 |
旋转速率 |
0-30 rpm |
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基板高度调节 |
0-150mm |
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设备整体尺寸 |
760x620x2100mm |
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蒸发舟数量 |
6个 |
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低温蒸发源 |
5-10cc @400℃ |
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高温蒸发源 |
5-10cc @1200℃ |
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前级泵 |
6.2 m3/h 干泵 |
可选配 |
主泵 |
260 L/s 分子泵 |
可选配 |
本底真空度 |
9E-7 Torr |
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本系统可满足工艺过程验证有机及金属材料,满足研究过程中对于材料真空蒸镀的初期性能参数确认,并可满足两种材料共蒸。
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