TEL:400-0033-603

销售热线:

400-0033-603

 

总经理投诉电话:18009693519

贝意克学术论文奖荐读 | 宁夏大学朱涛涛 SiC陶瓷膜的制备研究
贝意克学术论文奖荐读 | 复旦大学 曹永杰:独立思考,发现问题,解决问题!
交流研思 笃行致远 | 合肥工业大学微电子学院师生莅临我司参观交流
贝意克奖学金—寻找最闪耀的你

 ------- 实验室预约 -------- 

微信公众号

安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

我要留言

欢迎点击留下您宝贵的意见

我们会在第一时间给您回复

Copyright 2017  安徽贝意克设备技术有限公司   皖ICP备12002778号-1   技术支持:中企动力  合肥

浏览量:
产品名称

P15等离子体清洗、刻蚀机

所属分类
零售价
0.00
数量
-
+
库存
0
没有此类产品
联系我们
在线咨询
产品描述
产品参数

概述:

等离子体清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下,等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度,再在等离子电源作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物质第四态)。等离子电源提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光,材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

 

技术参数:

罐体尺寸:Φ150×220深;

极限真空度: 9*10-1Pa(配套双级旋片真空泵);

射频电源,功率0~150 W,数显;

充气系统包括高真空专用微调阀2套,方便二种不同气体按比例混合;

真空系统 配真空泵一台,抽气速度≥2 升/秒 ,极限真空9x10-1,工作电压220伏。真空专用阀、充气阀、不锈钢真空波纹管、高精度数字式真空计、规管(配触摸屏系统采用进口规管);

刻蚀系统另加装水冷样品台;

标配采用手动逻辑控制。可选配PLC+触摸屏自动控制。

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
暂未实现,敬请期待
上一篇
下一篇