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产品名称

分体式升华设备手套箱(简易款)

设备简介:此款设备简易分体式结构,能将升华体置于手套箱内部,控制部分及真空部分置于手套箱外,成本低,操作简易。能初步满足材料进出及升华过程中的气氛保护要求。法兰为球头真空吸附方式密封,无需工具操作,大大降低了手套箱内的操作难度,整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。
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产品描述
产品参数

设备长度

500mm

外观

亮面不锈钢

外管尺寸

50*700mm

单层金属滤网,简易拆卸,易清洁保养

每段加热区长度

100+200+100mm

软件温控保护最高温

600°C

极限真空

10-4Pa

升华炉体内置于手套箱内

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