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MASS FLOW CONTROLLER(质量流量计,缩写MFC) 气体质量流量计七星华创气体质量流量计D07/scc/汇博隆流量计
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产品名称

MASS FLOW CONTROLLER(质量流量计,缩写MFC) 气体质量流量计七星华创气体质量流量计D07/scc/汇博隆流量计

用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
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产品描述
产品参数
产品型号 D07-7B
产品类型 N2 其他气体校准的DOC可按要求订购交货时间为4周
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm(可选)
产品精度 ±1.5%F.S.
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±1%F.S.
响应时间 ≤10sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号 (0~5)VDC
电源 ±15V
阀类型 常闭
温度系数 - 无 -
零点飘移指标 - 无 -
电气连接 D sub 15 pins Female
工作压差范围 (0.1~0.5) MPa
漏率 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式 双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分 - 无 -
表面粗糙度 - 无 -
抗电磁干扰 CE
重量 1.1kg
 

 

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