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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪

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产品名称

半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪

设备简介：设备进料端配置对面双工位手套箱，手套箱内配置轨道及操作平台，方便载料管的运输和装料。升华机出料端配置双面四工位手套箱，手套箱内设置有轨道及升降操作平台方便取料、封装及运输，手套箱可内衬四氟或喷涂特氟龙起到防腐作用。半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异，对于材料进行提纯，参数准确，工艺可靠稳定，实验结果表明，单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度，将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝，避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染，是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。

所属分类

半导体&OLED有机小分子材料生产设备

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产品描述

产品参数

视频演示：

案例展示：

技术参数（可定制）：

设备尺寸：3800x1800x1850mm（不含手套箱）

外管尺寸：Φ300x3000mm

加热区长度：200+600+250+250+250+250+250+250mm（可定制）

额定功率：22KW

加热元件：进口KTL电阻丝

控温精度：±1℃

冲温幅度：≤1℃

升温速率：≥5℃/min，可调

机械泵抽速：30m³/h

分子泵抽速：160m3/h

极限真空：10^-5Pa

炉膛材质：多晶氧化铝陶瓷纤维

控制系统：电动/手动模式

工作温度：软件温控保护最高温度600℃，设备硬件支持最高温度800℃

左端单工位手套箱连接左端法兰：长度1220mm、深度750mm、高度900mm

右端对面双工位手套箱连接右端法兰：长度2440mm、深度1000mm、高度900mm

有机小分子箱式提纯仪